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闩锁测试结构制造技术
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文档序号:37138843
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本发明涉及一种闩锁测试结构,包括:第一导电类型的衬底;第二导电类型的第一阱区,位于第一导电类型的衬底内;第一导电类型的第一掺杂区,位于第二导电类型的第一阱区内;第二导电类型的第一掺杂区,位于第二导电类型的第一阱区内;于第一导电类型的衬底内间...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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