下载多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法的技术资料

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本发明的一个方式的多带电粒子束描绘装置,其特征在于,具备:射束形成机构,形成多带电粒子束;块区域生成电路,从将在多带电粒子束的各射束与相邻的其他多个射束之间被包围的各小区域组合而成的上述多带电粒子束的照射区域生成多个块区域;以及描绘机构,使...
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