专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
纽富来科技股份有限公司
>
多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法制造方法及图纸
>技术资料下载
下载多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法的技术资料
文档序号:37138769
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明的一个方式的多带电粒子束描绘装置,其特征在于,具备:射束形成机构,形成多带电粒子束;块区域生成电路,从将在多带电粒子束的各射束与相邻的其他多个射束之间被包围的各小区域组合而成的上述多带电粒子束的照射区域生成多个块区域;以及描绘机构,使...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。