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本发明公开了一种晶圆片表面金属杂质处理装置，包括除尘装置、清洗装置和风干装置，所述除尘装置和风干装置分别位于清洗装置的两侧，所述清洗装置包括超声波清洗槽，所述超声波清洗槽的底部设有升降平台，所述升降平台上设有翻转机构，本发明结构简单，设计新...
该专利属于鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司授权不得商用。

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