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本申请实施例提供了一种半导体设备及其密封门机构。密封门机构用于密封半导体设备工艺腔室的开口，包括：支撑臂及密封盘组件；密封盘组件包括密封盘及密封件，密封件设置于密封盘上，密封盘固定设置于支撑臂上，支撑臂用于通过压紧密封盘及密封件以封闭工艺腔...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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