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一种系统包括可编程逻辑控制(PLC)模块、输入/输出(IO)网络总线，该网络总线耦接至PLC模块并设置在主机的小面处。第一处理腔室附接至所述小面的第一小面。该腔室接口IO子模块附接至第一小面并且耦接至IO网络总线及第一处理腔室的处理腔室IO...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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