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本文提供了用于处理基板的方法和设备。在实施例中，用于PVD腔室中的磁控管组件包括：底板，所述底板具有第一侧、与第一侧相对的第二侧和中心轴；可旋转地耦合到底板的磁体板，其中磁体板相对于底板围绕偏移轴旋转；磁体组件，所述磁体组件耦合到偏离偏移轴...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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