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气体成分检测装置制造方法及图纸
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文档序号:37136681
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本发明提供一种气体成分检测装置(10),具备色谱柱(21)、传感器(23)、流路(621、622)以及流路切换器(22)。色谱柱(21)分离被检测气体的成分。传感器(23)例如是半导体传感器,连接在色谱柱(21)的下游,检测被检测气体的成分...
该专利属于株式会社村田制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社村田制作所授权不得商用。
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