气体成分检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体成分检测装置(10)，具备色谱柱(21)、传感器(23)、流路(621、622)以及流路切换器(22)。色谱柱(21)分离被检测气体的成分。传感器(23)例如是半导体传感器，连接在色谱柱(21)的下游，检测被检测气体的成分。流路(621、622)连接色谱柱(21)和传感器(23)。流路切换器(22)配置在流路(621)与流路(622)之间。流路切换器(22)切换执行测量模式和排出模式，其中，在测量模式下，使从色谱柱(21)排出的被检测气体流入到传感器(23)，在排出模式下，将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体成分检测装置


[0001]本专利技术涉及使用气相色谱法的技术，来检测气体的成分的气体成分检测装置。

技术介绍

[0002]目前，使用色谱法来检测成分的装置(例如，参照专利文献1)被各种实用化。而且，作为色谱法之一，有气相色谱法。气相色谱法检测气体所包含的成分。
[0003]利用气相色谱法的气体成分检测装置通过利用载气输送被检测气体，并暴露于检测器，来检测气体的成分。
[0004]专利文献1:日本特开2008－256714号公报
[0005]然而，在检测器使用半导体传感器等特定的传感器的情况下，若与被检测气体(被检测气体)一起包含使传感器中毒的气体，则传感器因该中毒气体而中毒。而且，若传感器中毒，则导致灵敏度劣化等，传感器的性能劣化。

技术实现思路

[0006]因此，本专利技术提供一种抑制传感器的中毒的气体成分检测装置。
[0007]本专利技术的气体成分检测装置具备色谱柱、传感器、下游侧流路以及流路切换器。色谱柱分离被检测气体的成分。传感器连接在色谱柱的下游，检测被检测气体的成分。下游侧流路连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体成分检测装置，具备：色谱柱，分离被检测气体的成分；传感器，连接在上述色谱柱的下游，检测上述被检测气体的成分；下游侧流路，连接上述色谱柱和上述传感器；以及流路切换器，配置于上述下游侧流路，上述流路切换器切换执行测量模式和排出模式，其中，在上述测量模式下，使从上述色谱柱排出的上述被检测气体流入到上述传感器，在上述排出模式下，将从上述色谱柱排出的上述被检测气体排出到外部。2.根据权利要求1所述的气体成分检测装置，其中，上述流路切换器在与上述测量模式以及上述排出模式不同的时间执行逆流模式，其中，上述逆流模式使气体从上述下游侧流路朝向上述色谱柱逆流。3.根据权利要求1或权利要求2所述的气体成分检测装置，其中，具备载气导入泵，上述载气导入泵将输送上述被检测气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：石田秀树，津田孝雄，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：