气体成分检测装置制造方法及图纸

技术编号:37136681 阅读:16 留言:0更新日期:2023-04-06 21:36
本发明专利技术提供一种气体成分检测装置(10),具备色谱柱(21)、传感器(23)、流路(621、622)以及流路切换器(22)。色谱柱(21)分离被检测气体的成分。传感器(23)例如是半导体传感器,连接在色谱柱(21)的下游,检测被检测气体的成分。流路(621、622)连接色谱柱(21)和传感器(23)。流路切换器(22)配置在流路(621)与流路(622)之间。流路切换器(22)切换执行测量模式和排出模式,其中,在测量模式下,使从色谱柱(21)排出的被检测气体流入到传感器(23),在排出模式下,将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。将从色谱柱(21)排出的被检测气体排出到外部。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体成分检测装置


[0001]本专利技术涉及使用气相色谱法的技术,来检测气体的成分的气体成分检测装置。

技术介绍

[0002]目前,使用色谱法来检测成分的装置(例如,参照专利文献1)被各种实用化。而且,作为色谱法之一,有气相色谱法。气相色谱法检测气体所包含的成分。
[0003]利用气相色谱法的气体成分检测装置通过利用载气输送被检测气体,并暴露于检测器,来检测气体的成分。
[0004]专利文献1:日本特开2008-256714号公报
[0005]然而,在检测器使用半导体传感器等特定的传感器的情况下,若与被检测气体(被检测气体)一起包含使传感器中毒的气体,则传感器因该中毒气体而中毒。而且,若传感器中毒,则导致灵敏度劣化等,传感器的性能劣化。

技术实现思路

[0006]因此,本专利技术提供一种抑制传感器的中毒的气体成分检测装置。
[0007]本专利技术的气体成分检测装置具备色谱柱、传感器、下游侧流路以及流路切换器。色谱柱分离被检测气体的成分。传感器连接在色谱柱的下游,检测被检测气体的成分。下游侧流路连接色谱柱和传感器。流路切换器配置于下游侧流路。流路切换器切换测量模式和排出模式并执行,其中,在测量模式下,使从色谱柱排出的被检测气体流入到传感器,在排出模式下,将从色谱柱排出的被检测气体排出到外部。
[0008]在该结构中,通过色谱柱,将被检测气体中的中毒成分和测量对象成分分离。中毒成分通过排出模式排出到外部,测量对象成分通过测量模式流入到传感器。由此,抑制中毒成分流入到传感器。
[0009]根据该专利技术,能够抑制传感器中毒。
附图说明
[0010]图1是表示第一实施方式的气体成分检测装置的结构的图。
[0011]图2的(A)、图2的(B)是表示气体成分检测装置的主要动作的流程图。
[0012]图3的(A)、图3的(B)、图3的(C)是表示各动作时的气体的流动的图。
[0013]图4的(A)、图4的(B)是表示各动作时的气体的流动的图。
[0014]图5的(A)是以测量模式(测量期间)的设定为基准执行流路的切换的流程图,图5的(B)是以排出模式(排出期间)的设定为基准执行流路的切换的流程图。
[0015]图6的(A)是表示以测量模式(测量期间)的设定为基准执行流路的切换的概念的图,图6的(B)是表示以排出模式(排出期间)的设定为基准执行流路的切换的概念的图。
[0016]图7的(A)是表示以多个测量模式(测量期间)的设定为基准执行流路的切换的概念的图,图7的(B)是表示以多个排出模式(排出期间)的设定为基准执行流路的切换的概念
的图。
[0017]图8是表示测量对象成分的信号与排出对象成分的信号接近的情况下的执行流路的切换的概念的图。
[0018]图9是表示包含测量模式、排出模式以及逆流模式的情况下的执行流路的切换的概念的图。
[0019]图10的(A)、图10的(B)、图10的(C)是表示流路切换器的结构的图。
[0020]图11是表示鼓风机的结构的一个例子的侧面剖视图。
[0021]图12是表示还具备辅助流路切换器的气体成分检测装置的结构的图。
[0022]图13是表示第二实施方式的气体成分检测装置的结构的图。
具体实施方式
[0023](第一实施方式)
[0024]参照附图对本专利技术的第一实施方式的气体成分检测装置进行说明。图1是表示第一实施方式的气体成分检测装置的结构的图。此外,图1使用功能模块示意性地示出气体成分检测装置。
[0025](气体成分检测装置10的结构)
[0026]如图1所示,气体成分检测装置10具备控制部20、色谱柱21、流路切换器22、传感器23、吸气泵31、载气导入泵32、投入容器40以及过滤器50。另外,气体成分检测装置10具备流路61、流路621、流路622、流路63、流路64以及流路65。
[0027]流路61、流路621、流路622、流路63、流路64以及流路65是与流路正交的面的剖面积(流路剖面积)大致恒定的管状。通过流路621和流路622构成本专利技术的“下游侧流路”。
[0028]流路61与色谱柱21和吸气泵31连通。流路621与色谱柱21和流路切换器22连通。流路622与流路切换器22和传感器23连通。传感器23经由开口72与外部空间连通。另外,流路切换器22经由开口73与外部空间连通。
[0029]流路63与流路61和载气导入泵32连通。流路64与吸气泵31和投入容器40连通。流路65与载气导入泵32和过滤器50连通。过滤器50经由开口71与外部空间连通。
[0030]控制部20与流路切换器22、吸气泵31以及载气导入泵32连接。控制部20生成控制流路切换器22、吸气泵31以及载气导入泵32的动作的控制信号,并输出至流路切换器22、吸气泵31以及载气导入泵32。流路切换器22、吸气泵31以及载气导入泵32根据所输入的控制信号来执行规定的动作。此外,对于该控制以及动作的详细内容后述。
[0031]色谱柱21为管状,在内部具备吸附体或者载体。另外,色谱柱21的流路剖面积以及管长、吸附体种类、载体的种类,即,色谱柱21的规格基于被检测气体的各成分的分辨率等来决定。色谱柱21通过根据已知的概念,使从流路61流入的被检测气体的各成分的输送时间不同,来分解各成分,并送出至流路621。
[0032]流路切换器22切换测量模式和排出模式。或者,流路切换器22切换测量模式、排出模式以及逆流模式。在测量模式下,流路切换器22从流路621朝向流路622输送气体。在排出模式下,流路切换器22从流路621朝向开口73输送气体。在逆流模式下,流路切换器22从开口73朝向流路621输送气体。
[0033]传感器23例如具备半导体传感器。此外,传感器的种类只要是具有因特定的气体
而中毒的性质的种类,并不限于半导体传感器,能够应用于本专利技术的结构。传感器23输出与被检测气体的各成分的浓度相应的强度的电压作为测量信号。根据该测量信号,能够检测被检测气体所包含的成分。
[0034]投入容器40收容呼气等被检测气体。投入容器40是可拆装的容器。吸气泵31通过流路64从投入容器40吸入被检测气体,并送出至流路61。
[0035]过滤器50是气体清洁化过滤器,例如,过滤空气中所包含的灰尘、微粒子等杂质。该过滤后的气体成为气相色谱法用的载气。载气导入泵32通过流路65吸入从过滤器50输出的载气,并通过流路63,送出至流路61。此时,载气导入泵32与色谱柱21的规格同样地,决定流速,以使被检测气体的成分的分辨率成为所希望的性能。
[0036](气体成分检测装置10中的被检测气体的输送以及成分的检测方法)
[0037]图2的(A)、图2的(B)、图2的(C)是表示气体成分检测装置的主要动作的流程图。图2的(A)表示执行测量和排出的情况,图2的(B)表示执行测量、排出、本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体成分检测装置,具备:色谱柱,分离被检测气体的成分;传感器,连接在上述色谱柱的下游,检测上述被检测气体的成分;下游侧流路,连接上述色谱柱和上述传感器;以及流路切换器,配置于上述下游侧流路,上述流路切换器切换执行测量模式和排出模式,其中,在上述测量模式下,使从上述色谱柱排出的上述被检测气体流入到上述传感器,在上述排出模式下,将从上述色谱柱排出的上述被检测气体排出到外部。2.根据权利要求1所述的气体成分检测装置,其中,上述流路切换器在与上述测量模式以及上述排出模式不同的时间执行逆流模式,其中,上述逆流模式使气体从上述下游侧流路朝向上述色谱柱逆流。3.根据权利要求1或权利要求2所述的气体成分检测装置,其中,具备载气导入泵,上述载气导入泵将输送上述被检测气体...

【专利技术属性】
技术研发人员:石田秀树津田孝雄
申请(专利权)人:株式会社村田制作所
类型:发明
国别省市:

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