下载晶圆以及晶圆的制造方法的技术资料

文档序号:37134891

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种晶圆以及晶圆的制造方法,其能够抑制用于导电凸块的形成的抗蚀层的残存。该晶圆具有:基板;以及基板的一个面之上的多个导电凸块,在自与上述基板的一个面垂直的方向的俯视时,在上述基板的一个面中,上述多个导电凸块的面积密度在排列有多个有...
该专利属于新光电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。