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本发明的激光加工装置具备：光源，其输出激光；空间光调制器，其用于将从所述光源输出的所述激光根据调制图案调制并输出；聚光透镜，其用于将从所述空间光调制器输出的所述激光聚光于对象物而在所述对象物形成聚光斑；移动部，其用于使所述聚光斑相对于所述对...
该专利属于浜松光子学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。

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