下载高效倒片机及其使用方法的技术资料

文档序号:37132419

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本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种高效倒片机及其使用方法。其中,一种高效倒片机,包括一机架,机架上设置有工作台;工作台上设置有第一上料口、第二上料口、第一工位和第二工位;高效倒片机还包括:第一运送机构,将放置有硅片的第一材质花篮从第一上...
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