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三色氮化物发光二极管的制造方法技术
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文档序号:37122983
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本发明公开一种三色氮化物发光二极管的制造方法,包括在衬底上进行外延生长功能层和发光层;通过区域选择性刻蚀,形成第一区域、第二区域和第三区域,分别使第一区域、第二区域和第三区域为第一发光层、第二发光层和第三发光层;在第一区域、第二区域和第三区...
该专利属于北京大学东莞光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院授权不得商用。
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