下载半导体装置的技术资料

文档序号:37108985

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公开了一种半导体装置。所述半导体装置包括:基底,包括有源图案;沟道图案,设置在有源图案上,其中,沟道图案包括竖直堆叠并彼此间隔开的多个半导体图案;源极/漏极图案,连接到半导体图案;以及栅电极,设置在半导体图案上。栅电极包括分别置于半导体图案...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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