温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆夹持装置，安装在晶圆卡盘上，包括：基座，设置在晶圆卡盘上；支撑台，设置在基座上，支撑晶圆；导向柱，设置在基座上，引导并限位晶圆于设定位置；夹持件，与基座活动连接，用于晶圆被引导并限位于设定位置后，夹持并固定晶圆，夹持件与...
该专利属于盛美半导体设备(上海)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备(上海)股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。