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描述了一种用于涂覆基板的真空沉积系统(100)。所述真空沉积系统包括：第一真空腔室(101)；和基板运输系统(110)，所述基板运输系统具有多个运输辊(111)，所述多个运输辊沿载体运输路径(T)布置以用于运输基板载体(10)通过所述第一真...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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