下载一种半导体结构、半导体结构的制作方法及存储器的技术资料

文档序号:37100907

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本申请提供了一种半导体结构制作方法、半导体结构及存储器,半导体结构:基底,上形成导电接触孔,金属硫化物层形成于在所述导电接触孔内,并覆盖所述导电接触孔底壁;半金属层形成于所述金属硫化物层的表面;阻挡层覆盖所述半金属层的表面和所述导电接触孔的...
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