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本实用新型公开一种用于半导体晶片空洞检测的载台，包括载台本体，载台本体具有第一表面以及第二表面，载台本体的第二表面上设有多个LED光源，载台本体的第二表面上还设有载台功能层，LED光源的峰值发射波长为第一预设值，载台功能层具有与第二表面相对...
该专利属于广东天域半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东天域半导体股份有限公司授权不得商用。

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