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半导体存储装置制造方法及图纸
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下载半导体存储装置的技术资料
文档序号:37056246
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实施方式提供一种能够较好地制造的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置具备:衬底;半导体层,在与衬底的表面交叉的第1方向上延伸;第1导电层,在与第1方向交叉的第2方向上延伸,且与半导体层对向;电荷储存层,设置在半导体层与第1导电层之间;及...
该专利属于铠侠股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过铠侠股份有限公司授权不得商用。
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