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本发明公开了一种光刻曝光机的灯光系统，包括支架，阵列排布在支架上的一组超高压汞灯。其中，所述支架为反碗状支架。其中，所述一组超高压汞灯至少为４个。其中，其特征是，所述超高压汞灯的轴线汇聚于支架的球心处，形成单灯的照射效果。本发明公开的光刻曝...
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