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本实用新型涉及半导体制造技术领域，提出一种晶圆定位托盘，包括主体，其上具有圆形空腔；以及多个齿，其布置于所述圆形空腔的边缘处，所述齿包括：齿面；以及定位台阶，其包括：台阶表面，其被配置为承载晶圆；以及邻接面，其将所述齿面与所述台阶表面连接，...
该专利属于上海优睿谱半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海优睿谱半导体设备有限公司授权不得商用。

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