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本实用新型公开了一种物理气相沉积装置，包括机器主体和盖板，所述机器主体的外表面上方设置有集尘箱，所述集尘箱的一侧连接有风管，且风管的一侧连接有吸风机，所述机器主体的内表面上方设置有吸尘腔，所述吸尘腔的下表面安装有吸尘嘴，所述机器主体的外表面...
该专利属于江苏旭宇腾半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏旭宇腾半导体科技有限公司授权不得商用。

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