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本实用新型公开了一种干涉终点检测结构及半导体工艺设备，涉及半导体技术领域，干涉终点检测结构的调节支架包括：平行光管固定架和支撑架，支撑架的一端用于与喷嘴可拆卸连接，另一端与平行光管固定架连接；平行光管固定架的一端和支撑架的另一端其中之一设置...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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