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本实用新型公开了一种伞状式晶圆镀膜治具，所述镀膜治具包括治具托盘，所述治具托盘呈球形面状，所述治具托盘上容安装多个晶圆，所述治具托盘的中部设有安装孔；以及安装支座，所述安装支座安装在安装孔内，所述治具托盘通过安装支座可拆卸的安装在一旋转机台...
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