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本公开实施例提供一种原子探针断层分析的样品及其制备方法、芯片。该制备方法包括：提供基底，基底具有阵列区和外围区；在阵列区执行第一半导体工艺，以形成第一半导体结构，在外围区同步执行第一半导体工艺中形成第一半导体结构的材料的工艺，在外围区形成堆...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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