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本发明实施例公开了用于硅片边缘抛光的设备及方法，所述设备包括：用于传送硅片的机械手；控制器，所述控制器用于根据标准位置控制所述机械手将所述硅片传送至与所述硅片的目标形貌相对应的期望位置处，以使所述硅片在所述期望位置处被执行边缘抛光。所述设备...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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