下载包含硅基发光材料的电致发光器件及制备方法的技术资料

文档序号:3695272

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一种包含硅基高效发光材料的电致发光器件,采用杂质离子注入在硅基二氧化硅薄膜里实现硅基材料的高效室温发光,包括:一p-型或n-型硅衬底;一掺杂层,该掺杂层制作在硅衬底上,该掺杂层是在硅衬底上生长的二氧化硅上用离子注入的方法形成的,该掺杂层是发...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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