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一种芯片失效位置的定位方法技术
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文档序号:36952457
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本发明提供一种芯片失效位置的定位方法,所述定位方法包括:S1),提供一待测的样品芯片,所述样品芯片包括功能单元区及外围布线区,所述外围布线区位于所述功能单元区的外周;S2),去除所述样品芯片位于所述功能单元区内的背面金属层;S3),基于失效...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。
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