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本申请涉及半导体技术领域，本申请提供了一种探针温度的控制方法。本申请在探针和卡盘均能够正常工作的情况下，响应于接收到无损报警信号，控制所述卡盘接近测试用的探针卡，以便所述卡盘通过热传递使所述探针卡上的探针保持在测试温度上。避免了长时间等待后...
该专利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春光华微电子设备工程中心有限公司授权不得商用。

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