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本实用新型公开一种用于成膜装置的发热体结构，涉及晶片加工设备相关技术领域，包括呈圆筒状的发热体，多个所述发热体依次套设于成膜装置上炉体的套筒外侧，所述发热体两端分别连接有石墨电极，所述石墨电极一端延伸至成膜装置上炉体顶部后固定连接有金属电极...
该专利属于宁波恒普真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波恒普真空科技股份有限公司授权不得商用。

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