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本案提供了用于在处理腔室中使用的喷头的实施方式和减少喷头面板下垂的方法。在一些实施方式中，一种用于在处理腔室中使用的喷头包括：面板，该面板具有穿过该面板设置的多个气体分配孔；和一个或多个缆线，该一个或多个缆线与面板接合且被构造为用以对该面板...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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