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本发明提供了一种悬浮载台、移载系统及悬浮载台的工作方法，涉及半导体技术领域。该悬浮载台包括，台面、承载轴，第一输气管以及第二输气管；所述承载轴与所述台面固定连接，用于承载所述台面；所述台面上均匀设置有多个第一通孔和多个第二通孔，且所述第一通...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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