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一种阀芯位移直测式压电比例阀制造技术
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文档序号:36868125
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本发明提供了一种阀芯位移直测式压电比例阀,包括阀体组件、压电驱动器、阀芯组件、位移测量组件;阀体组件形成工作介质流通通道,并安装其余部件;压电驱动器在比例阀开启时,通过外部电压的驱动对阀芯组件施加驱动力;阀芯组件在比例阀关闭时,对工作介质流...
该专利属于北京控制工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京控制工程研究所授权不得商用。
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