【技术实现步骤摘要】
一种阀芯位移直测式压电比例阀
[0001]本专利技术涉及比例阀
，特别涉及一种阀芯位移直测式压电比例阀。
技术介绍
[0002]基于压电驱动的比例阀、比例推力器在航天器、精密制造及医疗等微流控领域得到越来越广的应用，对其流量收敛速度的要求也越来越高。压电驱动器由于自身特点会有迟滞及蠕变等固有特性，虽然其绝对量通常在10
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100nm量级，但是由于调节的流量在μg/s～mg/s量级，这个量级的位移变化引起的流量变化通常达到50％以上。此时，通过单一电压输出实现高精度的位移控制在精度及收敛速度等性能指标上已不能满足要求。因此，需要对流量调节的位移量进行精确传感及反馈从而满足快速流量调节的要求。
[0003]目前已有的一些位移反馈通常是对压电驱动器自身采用了位移反馈，其本质上是一种间接测量，不能对与流量最相关的实际开度
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阀芯位移进行精确测量，由于阀芯
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阀座密封副存在弹性变形、外界温度变化时其开启电压不可避免的发生变化，不能准确的得到阀芯位移变化的信息。>[0004]因此，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阀芯位移直测式压电比例阀，其特征在于，包括阀体组件、压电驱动器(12)、阀芯组件、位移测量组件；阀体组件：形成工作介质流通通道，并安装所述压电驱动器(12)、阀芯组件和位移测量组件；压电驱动器(12)：在比例阀开启时，通过外部电压的驱动对阀芯组件施加驱动力；阀芯组件：比例阀关闭时，对工作介质流通通道进行密封；比例阀开启时，在压电驱动器(12)的驱动力作用下产生位移，开启工作介质流通通道并使其流通尺寸发生改变，进而改变流经阀体组件的工作介质的流量；位移测量组件：对所述阀芯组件产生的位移进行测量并为阀芯组件提供密封力。2.根据权利要求1所述的一种阀芯位移直测式压电比例阀，其特征在于，所述阀体组件包括阀体(13)、驱动腔压盖(14)和密封腔压盖(4)；阀体(13)内部一端为驱动腔，通过所述驱动腔压盖(14)封闭，另一端为密封腔，通过密封腔压盖(4)封闭，所述驱动腔与密封腔之间通过连接通道连接，所述压电驱动器(12)位于驱动腔内，一端固定在所述驱动腔压盖(14)上。3.根据权利要求2所述的一种阀芯位移直测式压电比例阀，其特征在于，所述位移测量组件包括位移测量静子(1)、位移测量动子(2)和密封碟簧(5)；所述位移测量静子(1)固接在密封腔端盖(4)上，位于所述密封腔外侧；所述位移测量动子(2)的一端与阀芯组件搭接，另一端穿过所述密封腔端盖(4)上设置的通孔穿出所述密封腔，所述密封碟簧(5)位于位移测量动子(2)与密封腔压盖(4)之间，通过变形对所述位移测量动子(2)施加朝向驱动腔方向的作用力，进一步对所述阀芯组件施加密封力。4.根据权利要求3所述的一种阀芯位移直测式压电比例阀，其特征在于，所述阀芯组件包括顶杆(11)、密封座(7)和陶瓷球(6)，所述顶杆(11)的一端与所述压电驱动器(12)的另一端搭接，另一端穿过所述连接通道；所述密封座(7)位于密封腔内，朝向所述密封腔端盖(4)的一侧开有与所述陶瓷球(6)尺寸...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪旭东，高晨光，付新菊，刘旭辉，王平，姚兆普，姜华，宋新河，
申请(专利权)人：北京控制工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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