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本发明提供了一种晶圆托盘、一种晶圆托盘的温度控制方法以及一种计算机可读存储介质。上述晶圆托盘包括：托盘本体，至少包括位于中心区域的第一分区，以及位于边缘区域的第二分区；多个第一半导体制冷器，垂直托盘本体径向地设置于托盘本体中，并沿第一分区和...
该专利属于拓荆科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技股份有限公司授权不得商用。

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