温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种晶圆工作台面清理用传感器防护装置，包括覆盖板、清理孔和防护腔。覆盖板包括上表面和下表面。清理孔由覆盖板的上表面贯穿至下表面，清理孔的尺寸大于晶圆工作台面的直径。防护腔开设覆盖板的下表面且围绕清理孔的周围分布。其中，在覆盖板的下...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。