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本实用新型公开了一种钯合金氢气传感器，涉及氢气传感器技术领域，包括作为基底的硅片，沉积于所述硅片上中心位置的第一氮化硅薄膜，沉积于所述第一氮化硅薄膜的上方正中间的两个呈迂回折线状的铂叉指电极，将两个所述铂叉指电极完全覆盖的第二氮化硅薄膜，分...
该专利属于四川拓景科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川拓景科技有限公司授权不得商用。

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