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本实用新型提供了一种晶圆升温装置和晶圆加工设备，涉及晶圆加工技术领域，该晶圆升温装置包括反应腔室和加热灯管，反应腔室的顶侧设置有反射穹顶，加热灯管设置在反应腔室内，并位于反射穹顶的下方，其中，反应腔室内还具有用于放置晶圆的承载工位，加热灯管...
该专利属于无锡邑文电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡邑文电子科技有限公司授权不得商用。

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