下载沟槽型晶体管及其形成方法的技术资料

文档序号:36845032

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本申请公开一种沟槽型晶体管及其形成方法,其中沟槽型晶体管包括:衬底;外延层,所述外延层位于所述衬底表面,所述外延层包括至少一个栅极结构、与至少一个所述栅极结构分别对应的屏蔽区和金属区,所述屏蔽区包裹对应的所述栅极结构的至少一侧,所述金属区位...
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