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本发明涉及信息处理方法以及信息处理装置。信息处理方法获取在对基板的周期处理中测定出的时间序列数据组。信息处理方法针对获取到的时间序列数据组所包含的每个时间序列数据，计算周期处理的各周期的统计值。信息处理方法生成基于计算出的统计值的统计数据。...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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