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制造半导体晶片的方法技术
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文档序号:36799961
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一种半导体晶片的制造方法包括:准备具有第一主表面和在第一主表面的背面的第二主表面的锭,剥离层沿着第一主表面形成在锭中;以及相对于沿第一主表面的表面方向从锭的外部向锭施加负荷,使得具有作为锭在表面方向上的第一端的支承点的力矩作用在锭上,从而从...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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