下载基板处理装置及基板处理方法的技术资料

文档序号:36799088

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本发明的课题在于预先防止与狭缝喷嘴一体地下降的喷嘴防护件踩踏突出物而对处理液向基板的涂布带来不良影响的情况。本发明提供一种基板处理装置及基板处理方法。本发明包括:狭缝喷嘴,具有狭缝状的吐出口;移动机构,使狭缝喷嘴相对于基板相对地移动;喷嘴防...
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