下载一种气体混合装置及半导体工艺系统的技术资料

文档序号:36788896

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本实用新型涉及一种气体混合装置,包括:气体缓冲罐,所述气体缓冲罐的内部具有密闭的腔体,且所述气体缓冲罐上具有连通外接和所述腔体的第一通孔和第二通孔;进气接头,通过所述第一通孔与所述腔体连通;出气接头,通过所述第一通孔与所述腔体连通;其中,所...
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