专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海良薇机电工程有限公司
>
一种气体混合装置及半导体工艺系统制造方法及图纸
>技术资料下载
下载一种气体混合装置及半导体工艺系统的技术资料
文档序号:36788896
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种气体混合装置,包括:气体缓冲罐,所述气体缓冲罐的内部具有密闭的腔体,且所述气体缓冲罐上具有连通外接和所述腔体的第一通孔和第二通孔;进气接头,通过所述第一通孔与所述腔体连通;出气接头,通过所述第一通孔与所述腔体连通;其中,所...
该专利属于上海良薇机电工程有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海良薇机电工程有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。