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一种用于衬底处理系统的衬底支撑件包含：单块式基座板，其具有第一表面和第二表面，所述第一表面被设置成支撑衬底，所述第二表面被设置成与基座杆对接。沟槽形成在所述单块式基座板的所述第二表面中。所述沟槽具有蜿蜒的形状，且所述沟槽的深度从所述单块式基...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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