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本发明提供一种谐振器组、滤波器、电子设备及谐振器制作方法。谐振器制作方法包括：提供衬底；在衬底上形成由层叠设置的声学镜、底电极、压电层、顶电极和导电层构成的层叠结构，其中，导电层覆盖顶电极的部分区域；在层叠结构上通过一次图形化形成引线开口结...
该专利属于诺思(天津)微系统有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过诺思(天津)微系统有限责任公司授权不得商用。

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