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本实用新型公开一种碳化硅晶片批量化高温退火装置，包括炉体外壳、加热器、发热件、保温层和晶片支架，炉体外壳上设有第一腔室门和第二腔室门，并与炉体外壳构成腔室，加热器环绕于炉体外壳的外侧，发热件、保温层和晶片支架从第一腔室门和/或第二腔室门放入...
该专利属于厦门紫硅半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门紫硅半导体科技有限公司授权不得商用。

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