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本申请实施例公开了一种基板成膜装置和基板处理装置，包括容器、开闭阀、基座、内轴、外轴和第一吹扫机构；容器开设有排气孔，容器布置有反应室和加热室；基座转动布置在反应室，基座开设有贯穿的配接孔，基座上设有载盘；内轴沿竖直轴线穿过容器的底壁并插入...
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