下载测试模型的建立方法、测试方法和检测设备的技术资料

文档序号:36764834

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例涉及半导体测试领域,特别涉及一种测试模型的建立方法、测试方法和检测设备,包括:提供半导体结构,半导体结构中堆叠有N个芯片结构,芯片结构包括:半导体层以及堆叠在半导体层上的M层金属层;从M层金属层中选择一层金属层或选择半导体层作为...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。