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本公开涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。一种微机电系统(MEMS)镜组件包括限定腔的基底基板和从腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将...
该专利属于谷歌有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过谷歌有限责任公司授权不得商用。

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