【技术实现步骤摘要】
用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器
[0001]分案说明
[0002]本申请属于申请日为2018年3月29日的中国专利技术专利申请201810272481.X的分案申请。
[0003]本申请涉及用于基于MEMS的致动器的叉合垂直阻尼器。
技术介绍
[0004]微机电系统(MEMS)镜在光束转向装置中具有广泛的应用。电压和/或电流的施加可以控制MEMS镜的位置，并且因此使光束在期望的方向上转向。然而，当镜子重新定位时，它可能会在其新位置安顿下来之前“振铃”一段时间。
技术实现思路
[0005]至少一个方面涉及微机电系统(MEMS)镜组件。该MEMS镜组件包括限定腔的基底基板和从该腔的底部向上延伸的多个第一特征。MEMS镜组件包括耦接到基底基板并限定MEMS致动器和MEMS镜平台的镜基板。MEMS致动器的致动将MEMS镜平台从第一位置状态移动到第二位置状态。MEMS镜平台在MEMS镜平台的面向基底基板的一侧上限定多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置被设定为使得当镜平台处于第二位置...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微机电系统(MEMS)镜组件，包括：基底基板，所述基底基板限定多个腔和从所述腔的底部向上延伸的多个第一特征；镜基板，所述镜基板耦接到所述基底基板并限定MEMS镜平台和MEMS致动器，所述MEMS致动器耦接到所述MEMS镜平台的外围并将所述MEMS镜平台悬挂在所述基底基板上；在所述MEMS镜平台的面向所述基底基板的一侧上的多个第二特征，所述多个第二特征的尺寸、形状和位置被设定为使得所述多个第二特征延伸到分隔所述多个第一特征的空间中，其中所述第二特征包括以紧密堆积的结构形式围绕所述腔的阵列的多个壁，其中所述紧密堆积的结构留下保持所述MEMS镜平台的结构完整性的壁格；以及设置在所述MEMS镜平台的面向远离所述基底基板的一侧上的反射材料。2.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，其中：所述MEMS致动器围绕轴线旋转所述MEMS镜平台以实现第一位置状态和第二位置状态。3.根据权利要求2所述的MEMS镜组件，其中：所述多个第二特征形成限定开口的所述多个壁，当所述MEMS镜平台处于所述第二位置状态时，少于全部所述多个第一特征延伸到所述开口中。4.根据权利要求3所述的MEMS镜组件，其中：所述MEMS镜平台通过围绕轴线旋转而从所述第一位置状态移动到所述第二位置状态，所述多个第一特征包括位于距所述轴线第一距离处的第一子集的特征和位于距所述轴线大于所述第一距离的第二距离处的第二子集的特征，以及所述第一子集的特征比所述第二子集的特征从所述腔的所述底部延伸得更远。5.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，其中：所述多个第一特征延伸到一个高度，所述高度大于所述腔的深度。6.根据权利要求2所述的MEMS镜组件，其中：当所述MEMS镜平台处于所述第一位置状态时，所述第一多个特征的第一子集延伸到分隔所述第二多个特征的第一子集的空间中；以及当所述MEMS镜平台处于所述第二位置状态时，所述第一多个特征的第二子集延伸到分隔所述第二多个特征的第二子集的空间中。7.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，包括：围绕所述MEMS镜平台、所述多个第一特征以及所述多个第二特征的流体，其中：当所述MEMS镜平台处于静止状态时，所述多个第一特征与所述多个第二特征之间的间隙在平行于所述基底基板的顶表面的方向上测量为在5至10μm之间。8.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，其中：所述腔是三角形、圆柱形、圆形或矩形。9.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，其中：所述MEMS致动器具有第一部分和第二部分，穿过所述MEMS致动器的所述第一部分施加的第一电压使所述MEMS镜平台沿第一方向移动，穿过所述MEMS致动器的所述第二部分施加的第二电压沿与所述第一方向相反的第二方向移动所述MEMS镜平台。10.根据权利要求1所述的MEMS镜组件，其中：
所述镜基板限定位于所述腔上方的万向节，所述万向节限定第二MEMS致动器和包含所述MEMS镜平台的切口；所述MEMS致动器的致动使所述MEMS镜平台围绕第一轴线旋转；以及所述第二MEMS致动器的致动使所述万向节和所述MEMS镜平台围绕基本上垂直于所述第一轴线的第二轴线旋转。11.一种制造微机电系统(MEMS)镜阵列的方法，包括：提供限定腔阵列的基底基板，每个腔具有从所述腔的底部向上延伸的多个第一特征；提供限定MEMS镜平台阵列和M...
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