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本发明公开了一种机械手的控制方法、一种机械手和一种半导体加工系统。该控制方法包括以下步骤：控制所述机械手带动其操作端向晶圆托盘移动；获取所述操作端与所述晶圆托盘的位置偏差数据；根据所述位置偏差数据确定纠偏指令，以对所述操作端进行位置纠偏；以...
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